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型号
FSF-250/1600
抽气速率（l/s）
1600L/S
压缩比N2
>109
压缩比H2
>8×104
极限压强(Pa)
<2×10-8
<1×10-7
高真空法兰
LF250
CF250
排气口法兰
KF50
启动加速时（min）
<7min
电机转速（n/min）
24000n/min
最小不平衡（mg）
15mg
建议采用前级泵
机械泵15L/S
充油量（ml）
/
安装方式
垂直±5°
冷却方式
水冷或风冷
冷却水温度
<20℃
环境使用温度（℃）
风冷<32℃ 水冷<40℃
泵体烘烤温度（℃）
<100℃
泵重量（kg）
40kg
外形尺寸（mm）
Φ340×427
